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罗茨泵的真空度与抽速特性
发布时间:2016-08-02        浏览次数:19        返回列表

罗茨泵的真空度与抽速特性
罗茨泵的性能通常以极限真空度和抽速这两个主要参数来表示。真空度是罗茨真空泵所形成的低于大气压的绝对压力,以mmHg或Pa或Torr表示。抽速即为该泵每分钟或每秒钟的抽气量,以m3/min,或L/s表示,如精细化工经常使用到的罗茨泵ZJ70、2.1150,ZJ300,分别表示每秒的抽气里有70US,150Us,300Us。罗茨泵的抽速随真空度变化的曲线,可以看出,在真空度较低时,泵达到最大抽速,在真空度较高时,抽速急剧下降,当真空度继续上升到最高值时,抽速甚至下降到零。但是,这种罗茨油泵在抽速急剧下降以前,有一段抽速基本稳定的范围,在这个范围内允许真空度有较大的变化,但抽速颖保持基本不变。例如作为机械增压泵时,真空度在10^-10-ZTorr这么宽的范围内变化,仍可获得稳定的大抽速,这就是罗茨真空泵的一大优点,它有效地弥补了油封机械泵和油扩散泵在该压强范围内抽速显著下降或不能工作的缺点。
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