等离子光氧净化器是由电子、离子、自由基和中性离子流组成，工作状态呈流星雨状导电性流体，属固态、液态、气态之外第四种物质形态。等离子发生器整体保持电中性，安全可靠。按离子的温度，等离子分为热平衡等离子体、非平衡等离子体和低温等离子体。
当废气进入等离子光氧净化器一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团，之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有有害有害物质转变成无有害无害或低有害低害的物质，从而使污染物得以降解去除)。然后部分有机废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无有害无害无味气体。
等离子光氧催化设备的优点：
1、等离子净化器操作方便:模块化设计，便于取出检修和清理。
2、优质进口材料制造:防火、防腐蚀性能高，设备性能安全稳定，采用不锈钢材质，设备使用寿命在十五年以上。
3、优势互补:集UV光解与低温等离子体技术于一体，先通过UV光解将大部分的分子化学键断裂，同时产生大量臭氧，使恶臭气体被氧化分解。恶臭气体中部分分子的化学键键能较高，导致UV光解未能分解。而低温等离子体技术对于低浓度恶臭气体有很好的处理效果，所以采用低温等离子体对未分解的分子进一部降解，将恶臭气体彻底氧化分解。
4、高效除臭:一次性净化效率高，能同时净化多种污染物，无需添加任何物质，二次污染。
5、适应性强:等离子体光解设备可适应高浓度，大气量，不同工业废气物质的脱臭、净化处理，可每天24小时连续工作，运行稳定可靠。
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