UV光氧催化设备装置及其效果
目前国内多数磷肥厂对含氟废气采取了净化处理，并且一些普钙厂还进行了综合利用，从废气中回收氟硅酸钠、冰晶石等副产品。钙镁磷肥厂则由于烟气中含氟量低和含杂质多，所以开展综合利用的为数不多。
UV光氧催化设备对含氟废气的净化处理，多采用湿法吸收，一般用水作为吸收液，也有用碱性溶液或其他盐类溶液的。水对氟化氢和四氟化硅不但有较高的亲合力，而且经济易得，便于加工其他产品。缺点是腐蚀性强，设备容易损坏，需要经常进行检修。
由于普钙和钙镁磷肥生产方式不同，烟气的温度及含尘量差别很大，因此使用的净化处理设备有所不同。
普钙普钙厂排出的含氟废气温度低，湿度大，尘粒不多，但矿粉和硅胶性杂质的粘性大，容易附着管壁堵塞管道。整个处理设备包括连接管道多采用耐腐蚀的塑料、玻璃钢或水泥砂桨抹面的砖砌体等材料加工制造。目前常用的处理设备有拨水轮吸收室、文氏管、湍动塔等。
1.拨水轮吸收室：这是磷肥厂普遍应用的一种处理设备。它分为箱式多轴和筒式两种，箱式多轴吸收室的构造，由隔墙把整个吸收室分成几个小室(多为六室)，每室有一组拨水轮，将水拨起形成水帘。废气通过水帘时，气相和液相接触而被吸收。吸收液反复使用，达到一定浓度时送到氟加工工段。为了便于清理和维修，每室都开有人孔。这种吸收室多以砖砌成，结构简单，制造方便，易于上马、中小型磷肥厂多数采用此种形式。缺点是吸收效率较低，占地面积大，清理不太方便。
双轴筒式吸收室的构造，它是有二根带拨水轮转轴的卧式圆筒，纵向有1~2道隔板将圆筒分成2-3个小室，使气液有较长的接触时间。VOC有机废气处理吸收室多用硬质聚氯乙烯板加工制作，结构紧凑，占地少，操作维护也较方便。但这种吸收室吸收效率低，一般不单独使用，大多作为第一级吸收装置。 拨水轮吸收室的性能，据测定阻力在30~50毫米水柱，吸收效率在70-90%之间。
2.湍动吸收塔：国内不少大中型普钙厂在筒式拨水轮吸收室后，增设一级湍动吸收塔，以提高氟的吸收效率。湍动塔的构造湍动塔由湍动床、喷咀和除沫层组成。湍动床上装有用聚乙烯制成的乒乓球，在气流的作用下，乒乓球剧烈的湍动，增加了气液两相的接触面积，有利于氟的充分吸收。塔顶装有挡水板除沫器，以除去雾滴。湍动塔多用硬质聚氯乙烯板加工，如用钢板制造时，内壁最好衬以防腐层。据测定二室一塔总的净化效率在90-95%之间，在一些大中型磷肥厂中得到广泛的应用。南化磷肥厂总结了多年应用经验，针对原有设备气流带沫多影响净化效果的缺点，提出了二室一塔三除沫和“洗涤水全循环”的处理流程。其特点是在吸收室和湍动塔(或喷射式洗涤塔)之间增设风帽式除沫器，以减轻后一级净化设备的负荷。在湍动塔与烟囱之间也增设两个除沫器，以减少雾滴向大气排放。洗涤水则通过循环使用，作到了不向外排放。据该厂1977年6月对这套设备净化效率测定结果，喷涂废气处理设备净化效率达到了99.53%,使烟气排放浓度降到0.045克/m³，总排氟量为0.618公斤/时。大大低于国家规定标准。这套设备的缺点是阻力较大，整个系统阻力为190毫米水柱。
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