点击图片查看原图
| 六腔独立结构设计，8寸晶圆专用洁净充氮烘箱 |
一、充氮无氧烘箱特点：
1..全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；
2..适合于无尘室环境中使用
3. 日本富士P.I.D智能温控仪表，操作便捷！
4. 六个腔体独立控制，节省空间，操作方便！
5. 全不锈钢材质，外观精致美观！
二、充氮无氧烘箱主要参数：
1. 产品型号及名称：充氮无氧烘箱
ANN-6D
2. 规格尺寸：工作尺寸：W450*H380*D450(6腔体)
3..温度范围：RT＋10℃～250℃，40-45分钟(空箱测试)。
4. 温度控制：精度±0.5%;
5. 温度均匀：±2% (空箱测试)
6. 功 率：18KW
7. 降 温：采用风冷降温方式
8. 加 热 器：特质复合式SUS304＃不锈钢无尘电热产生器
9. 保温材质：120K级高密度硅酸铝纤维填充，保温层厚度为100mm
10 每个工作腔配置独立的氮气流量计。
11.温控系统：
温控装置：富士P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、八段程
序控制（六套）。
温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。
测温装置：1支PT100铂电阻温度传感装置，测温精确。
定时装置：HS48S-99.99定时仪表。
12.完善的安全保护措施：
炉门自锁装置//漏电断路器//超温保护//超时报警//马达过载电流保护//机台异常蜂
鸣器警示
公司名称：上海旦顺实业有限公司
业务经理：蒋鑫; 手机号：15221744475
