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工作台同步运动控制性能指标的实现，除需要硅片台、掩模台单独的控制精度之外，还应具有合理的同步运动与控制机制。依据曝光扫描运动中存在的3个阶段：开始阶段咖速与稳定阶段)，扫描阶段(除去稳定段之外的匀速段)和结束阶段，结合系统可能出现的停止状态和错误状态，规划了工作台的同步状态跃迁过程，并以伺服周期为单位进行状态触发，检验平板为工作台的同步运动提供了硬件保障机制；基于步进运动与扫描运动的工作过程规划了硅片台与掩模台的同步状态，在单台粗、微复合运动控制的基础上设计了交义反馈控制策略，即将硅片台的运动趋势(误差变化)引入掩模台的控制结构，使掩模台对硅片台的状态进行跟随和补偿。另外，该文献设计了同步误差评估模型，为工作台的控制性能指标提供验证标准。
二、扰动分析与补偿控制
扫描过程中，掩模台匀速段预期控制精度为其位置误差小于40nm，任何扰动因素都会对该精度产生严重影响，需要对外部存在的干扰进行分析，并设计相应的前馈控制器进行补偿。主要包括：投影物镜振动前馈补偿、粗微台电磁耦合补偿、垂向对水平向的耦合补偿等。
1、投影物镜振动干扰与补偿
投影物镜通过机架支撑，具有质量大、重心高等特点，扫描运动所致的运动冲击易造成投影物镜产生振动，任何微小振动将造成曝光线条偏离严重，影响同步扫描的曝光精度，因此，需要对物镜振动所致干扰进行补偿，以保证掩模台与投影物镜的相对位置关系。2、垂向运动对水平向运动耦合与补偿
工作台的微动台为空问6白由度运动，3个垂向直流电动机驱动凸轮单元支撑水平向洛伦兹电动机，实现垂向与水平向的控制分离。工作台在扫描曝光过程中，为补偿不同的硅片形貌误差，需要进行垂向的调平调焦运动，此运动将导致水平向洛伦兹电动机动、定了问隙发生变化，从而引起水平向驱动力产生角度倾斜。同时，垂向的调平调焦运动要求执行部件有较高的响应速度，随之而来的是 快速运动可能造成的振动，从而导致垂向运动对水平向产生扰动。
对于此类扰动，采用垂向加速度前馈控制进行补偿，将垂向运动作为扰动力通过补偿模型引入控制器。
3、粗、微运动台电磁耦合与补偿
工作台粗、微运动依靠平面电动机的电磁耦合进行关联，扫描运动由主从控制模式实现，即微动台实现小行程、纳米级运动，粗动台大行程、微米级跟随，粗动台以逼近霍尔传感器的值为零跟随微动台运动。由于粗动台(直线电动机)白身结构所限，在跟随运动时会产生较大的推力波动，虽然该波动可以通过实测手段并结合PID中的积分环节予以测量和补偿，但由于粗、微运动精度存在量级上的差异，粗动台的运动误差仍然可以通过电磁耦合影响微动台的控制精度，需要设计补偿控制器消除此耦合扰动。
铸铁平板使用进程中防备铸铁毁坏的步伐，铸铁平台在使用进程中，铸件呈现问题是 畸形的征象，不外铸件的毁坏水平纷歧样，铸铁平台的团体丈量进去的结果就纷歧样。
铸铁平台在使用的进程中，也要做大好人工的养护事情。铸铁平台在日常使历时，工件做完丈量后就要把工件从铸铁平台上移开，不可长期安排在铸铁平台上，容易使铸铁平台弯曲变形。
事情职员要当真依照规章轨制操纵，在操纵的进程中细致工艺法子，不要随意的磨损铸铁平台。铸铁平台较小的较 佳使用树脂砂，树脂砂在铸铁平台清砂的时候比力便利，别的一点便是 树脂砂型刚度恰好得当铸铁平台的使用，在浇注的早期树脂砂的高强度可使铸铁凝集的更好，能使此中的石墨化充实的收缩，并有用的解除包含缩孔、缩松等缺点，使铸铁平台中的铸件能够少冒口、无冒口的锻造。
铸铁平台的承载和他的实际计划和实际的出产加工另有比力密切的关系。平板的承载和它的长宽高、平板的概况精度分量、材质请求等等。
影响铸铁平台承载力的身分不但仅是 事情面的厚度，起着重要感化的仍是 围子和增强筋，围子和增强筋起着支持感化。所以再计划搭配中，公道的搭配能使铸铁平台造价低，使用寿命长。
凡是 在必定锻造前提下，每种锻造合金都存在一个能布满铸型的较 小壁厚，俗称为该锻造合金的较 小壁厚。铸铁平台壁厚过薄，在出产铸铁平台时会呈现铸铁平台浇不足和冷隔等缺点。这是 由于过薄的壁厚不能包管锻造合金液具备充足的本领布满铸型。
铸铁平板的保养与维修
铸铁平板的精度主要是 光洁度和平面度，铸铁平板长时间生锈和使用都会丧失它的精度。 铸铁平板丧失它的精度可以联系我们 厂家，我们 可以上门维修，如果精度不是 很高，可以找精度好的数控龙门加工中心加工一边，效果也非 常好。
1、铸铁平板在潮湿的环境下很容易生锈，长时间不用可以用黄油涂抹然后盖上纸，保证铸铁平板的工作面不生锈，在使用中应注意避免坚硬的工具敲打铸铁平台的工作面，来保证，铸铁平板的工作面精度。
2、为了防止铸铁平板发生长久变形，工件检验完毕或划线完毕后，要把工件拿开，不得长时间放在平台上。
3、较 好用木板制作的一个专用罩(平台的外包装即可)，不用平台时，用罩子将平台的工作面罩住。严禁水滴在铸铁平台、平板的工作面上。
4、划线平台要实行周期检定，检定周期要根据使用的具体情况确定，一般情况为1年。
5、在使用铸铁平板的过程中要注意不要在潮湿，有腐蚀、过高和过低的温度环境下使用和存放。
泊头市精固诚量具机械有限公司(http://www.btjgc.com)主要产品钳工平板、花岗石平板、大理石平板、检测平板广泛应用于电站、冶金、机械、船舶，并可根据客户的特定要求，对场地进行考察后专门设计并提供合理的方案。
检验平台 http://www.btjgc.com/JYPT2593.html
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