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超精密运动平台自问世以来就被应用到各大领域，比如高精度机械研究领域，高精度医疗设备，高精度交通设备以及部分有关国家安全的领域。近年来，国内外很多研究机构，部分高新企业，以及高等学府，也都逐渐加大研发力度，将大量的人力物力财力投入到超精密运动平台的研究实验中，争取生产制造出出精度更高，更稳定的平台。国内高精度精密平台的发展单位主要集中在研究院所，和高等学府。目前在大力研制开发宏微动直线 大理石平台，具体思路是 ，大行程通过宏动台进行控制，要求速度快但是 精度略低，同时协同配合微动台进行小行程控制，微动台采用FPGA实现VME总线协议的解析，控制程序可以实现实现六自由度算法解祸控制算法，同时运动控制卡与霍尔传感器进行通信确定位置，较后通过一定的控制算法的调试，达到精确控制的目的。这种控制策略可以在保证精度要求的前提下，提高运动速度，进而提高加工效率目前可实现15mm的定位精度。同时清华大学也与企业合作，共同研制开发，其采用气浮台，减少了摩擦的干扰，提高了精度，同时该研发团队还采用了双频激光干涉仪技术，目的在于分别对高低速的运动状态下进行位置反馈，目前研究结果的精度可达12mm。
精密机械平台作为高精度的光学投影系统的重要组成部分，其主要功能为配合掩模台系统在曝光过程中的扫描运动，对光源，光强进行控制。这样可以使定量的光照强度进入到指定的曝光区域内，进而对硅片上的某点进行指定的曝光扫描。但是 在扫描曝光的过程中，往往会出现一定的光强出现在指定的曝光视场范围以外，这样就会造成相邻的的两个曝光视场部分重合，进而损失部分光强与剂量，这也是 导致降低生产精度的重要因素之一。精密机械 大理石量具的主要作用体现在扫描曝光过程中对光源的控制，其工作原理主要是 通过精确控制掩模台的位置，具体指控制曝光视场的范围，同时，在曝光过程中通过控制掩模板、硅片等进行同步曝光过程，从而减少光强照射在非 目标区域，进而提高曝光效率。由此可见，高速高精度狭缝扫描系统对光刻机的生产精度有着重要的影响，对提高其生产效率有重要作用。
精密 花岗石平台的运动指标，主要包括：X方向运动指标，Y方向的运动指标，及行程指标。接下来完成对抽离出的系统的实物搭建。首先完成实际系统重要模块的元器件的选型，主要包括：驱动元件一一电机的选型，测量元件一一光栅尺的选型，还有本文主要研究的重力补偿元件一一重力补偿气缸的选型，接下来对选定好的各软硬件进行初步的调试，进而完成本课题实验平台的搭建。较后，针对搭建好的平台设计初步的控制方案并进行实验探究，验证平台的可行性。并引出本平台存在的问题，即本课题需要研究的，重力补偿气缸中存在的摩擦问题。本课题选用的重力补偿气缸，本身摩擦其实很小，但是 考虑 到平台的精度要求，对其进行补偿是 很有必要的。
高唐县鑫凯精密机械有限公司（http://www.xinkaijingmi.com）专业从事 花岗石构件定做能确定工作环境中加工与检测的精度与工作产品品质，特别是用於高精度的测量方面。系 花岗石异型加工和精密加工的专业制造商， 公司多年来一直从事 花岗石量具适用于机械加工、零部件制造行业的精密检验、精密测量和精密划线、定位工作，是检测圆柱体的理想工具。 济南青大理石平台的平面度的检验，由于当前的工件和花岗石平板的规格不断的增大，所以工件对花岗石平板的要求也在发生变化，花岗石平台的接触点的多少和花岗石平台的加工成本有着很大的关系，因此，明智的用户已经不再刻意的要求花岗石平台接触点了。 产品广泛应用于船舶、科研、环保、航空等生产领域。
