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大理石构件：采用“济南青”石料经机械加工和手工精磨制成，黑色光泽、结构合理、质地均匀、稳定性好、强度大、硬度高，能在重负荷及一般温底下保持高精度，并且具有不生锈、不磁化、不变型等优点。
大理石构件特性：
1、花岗石机械构件经长期时效，组织结构均匀，线胀系数小，内应力完全消失，不变形。
2、刚性好，硬度高，性能强，温度变形小。
3、不怕酸和侵蚀，不会生锈，不必涂油，不易粘微尘，维护保养方便简单，使用寿命长。
4、不会出现划痕，不受恒温条件阻止，在常温下也能保持测量精度。
5、不磁化，测量时能平滑移动，无滞涩感，不受潮湿影响，平面稳定好。
花岗石机械构件物理性能：
1、比重：2970-3070kg/m3
2、耐压强度：2500-2600kg/cm3
3、弹性系数：1.3-1.5×106kg/cm2
4、吸水率：＜0.13%
5、肖式硬度：HS70以上。
操作注意事项
1.严禁使用硬质的物品在大理石平台上进行敲打、碰撞、磨擦此平面。
2.操作时严禁手上有油污、灰尘、脏污和汗水在平台上作业。
3.操作前用酒精进行平面的擦拭、异物清理干净。
4.每天早上或使用前检查平台是否出现倾斜状态，固定位置是否挪动。
5.严禁非部门人在此检验和乱动。
6.每天早上或使用前用工业酒精将平台清洗干净。
操作步骤
1.在大理石平台上进行测量前，检验大理石平台是否干净、明显损坏、倾斜等。
2.将测量物轻放在大理石机械构件上进行各种检测。
3.测试完后保持大理石平台的清洁。
现代超精密加工系统跟精密位置检测技术<一>、现代超精密加工系统
超精密机床的高确定性取决于对影响精度性能的各环节因素的控制。这些控制品质常常要求达到当代科技的，如机床运动部件(导轨、主轴等)较高的运动精度和可控性(如摩擦、阻尼品质)，机床坐标测量系统较高的分辨率、测量精度和稳定性，运动伺服控制系统较高的动、静态加工轨迹跟随和定位控制精度等。此外，大理石平台还要求数控系统具有较高性能的多轴实时控制及数据处理能力，机床本体的高刚性、高稳定性和优良的振动阻尼。为了防止环境振动和加工中机床姿态微小变化的影响，机床还需安装隔振、精密自动水平调整机构等。
(1)床身本体设计成整体类龙门框架结构，具有高刚性、高稳定性及安装、维修、工件装卸、加工运行易操作性特点。
(2)机身整体坐落在4主动式隔振气垫上，形成动力学3支撑，可随着加工中重心改变自动调水平；隔振气垫下的机床地基设计成具有横向隔离的重力型减振形式；机床重心及工件刀具加工点设计在接近支持平面的位置，以较小化床身姿态变化扰动影响。
(3)机床主轴、导轨均采用液浮静压轴承，并根据工作状态，主轴采用低阻尼，导轨采用高阻尼油；Z垂直导轨托板设计成无干涉气浮重力平衡机构。
(4)机床坐标测量采用衍射光栅测量系统；机床采用PC与多轴运动控制器构成的开放式数控系统。
(5)机床本体、主轴采用了无脉动重力型水冷恒温；液压源采用恒温、恒压、脉动滤波技术和装置；机房设计为内外双层恒温控制：为了保证控温精度，机床运行时，内机房处于无人状态，操作人员在外恒温隔离间监控。
<二>、精密位置检测技术
精密位置检测是超精密加工的必要手段，误差补偿是提高加工精度的措施。超精密位移检测是整个工作台定位精度的决定因素。按照位移的特征，可分为线位移和角位移。线位移是指机构沿着某一条直线移动的距离，角位移指机构沿着某固定点转动的角度。
目前，大理石构件能够进行纳米计量的方法重要有：非光学和光学2大类。前者包括：电容测微法、电感测微法；后者包括X射线干涉法、各种形式的激光干涉法和光学光栅等方法。前者虽然能够达到纳米甚至亚纳米的测量分辨率，但其测量范围有限，而且需要激光干涉仪等光学方法对其进行标定和校准。后者的光学系统一般比较复杂，生产成本高，所以产品较少，价格昂贵。
目前的精密定位系统中，常用的可达到纳米级分辨率的传感器主要有：激光干涉仪、光栅尺和电容位移传感器。激光干涉仪基于光的干涉原理，光栅尺则基于光栅对光线干涉的原理，2者都是通过条纹明暗变化间接推导出位移的微细变化；电容传感器利用电容的物理特性，通过探测细微的电压变化来推导出电容板的相对位移。
从量程上来看，激光干涉仪和光栅尺可以进行大行程纳米级测量，而电容传感器只能在微米级的量程内才能保持纳米级的测量精度。从测量方式来看，激光干涉仪和电容传感器可以实现非接触式测量而光栅尺只能测量接触物的相对位移，并以其中某接触物为测量的直线基础。因此，前者可以测量位移变化的直线值，光栅尺的测量值则是相对直线位移值。但由于光栅尺属于接触式位移检测装置，在使用时一根光栅尺仅仅能测量一个导轨方向的位移，无法测量其他方向导轨由于直线度和垂直度引起的交叉误差，即无法补偿多维运动中的空间误差。因此如果在多维运动系统中采用这种反馈方式，要采用离线误差补偿技术提高系统精度，对系统误差进行建模，减小空间误差的影响。
从使用角度看，一台激光干涉仪系统可以同时测量多组数据，但是系统结构复杂庞大，安装使用条件也很苛刻，加上几十万甚至上百万的价格，一般只用于实验设备或者昂贵的位置反馈装置，很常用于对精密仪器的校验等测试调试场合。一个光栅尺只能测量一个方向的的直线运动，但安装简单，价格适中，是超精密加工机床常用位置反馈装置。电容传感器有不同形式配置，多通道的电容传感器配备多个电容探头，同时进行多路反馈，使用方便，价格便宜，常用于微动仪器的位置反馈。
综上所述，激光干涉仪的测量功能较强实用性较低；光栅尺适合测量一维大行程运动，配合空间误差补偿技术可以进行多维运动反馈，电容传感器适合测量小范围内的位移，实用性好。
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