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催化反应的流程是这样的：
1、O3强催化氧反应剂进行废气催化氧反应，可地杀灭细 菌，将有有害有害物质破坏且改变成为低分子无害物质；
2、催化剂涂层，在C波段激光刺激它产生活性，强化催化氧反应作用；
3、在分离过程中产生高臭氧UV紫外线光束分离空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。而且众所周知臭氧对有机物具有极强的氧反应作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有极强的清理效果；通俗的讲光催化氧反应就是在外界可见光的作用下发作催化作用，光催化氧反应反应是以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O及其它洁净无害成份。催化燃烧设备是一种专门去除有有害有害气体及恶臭气体的一种装置。它具有高速率、运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，RCO催化燃烧设备净化速率很高，是目前市场上处理有机有害气体较佳的废气净化设备。
现在，催化燃烧设备的使用越来越频繁，因为现今废气处理技术中，主要有燃烧、冷凝、吸附、膜处理技术等。除燃烧技术外，其它处理方法主要适合于物种较单一、废气工况较稳定的场合，而且可适用工况范围均较小。但是大多数工业废气存在物种复杂、工况波动大，回收价值不高的问题，对于这一类尾气较适合采用燃烧技术。另外，与普通的热力焚烧处理技术相比，催化燃烧技术具有很多优点，据市场分析数据，催化燃烧技术在有机废气环保处理技术中已占50～60%之多，成为主流成熟的废气处理技术。
当催化燃烧设备在运行的时候，其实是可燃物在催化剂作用下燃烧。与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较全部。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的贵金属和金属氧反应物多组分物质。例如家用负载Pd或稀土化合物的催化燃气灶，可减少尾气中CO含量，提高热速率。负载0.2%pt的氧反应铝催化剂，在500℃下，可将大多数有机化合物燃烧，脱臭净化到化学位移σ=1以下。催化燃烧为无焰燃烧，因此适用于稳定性要求高的场合，如以H2和O2为原料的燃料电池、用汽油或酒精为原料的怀炉（催化剂为浸Pt石棉）等。如消 除化工厂NOx的烟雾，可加燃料到烟雾中，通过负载型铂和钯催化剂，催化燃烧使NOx转化为N2气。
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