光刻固化无氧烘箱 无尘无氧烘箱 MES烘箱 联网烤箱

450度高温无氧烤箱采用智能烘箱过程管理系统，由上海旦顺实业有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！

450度高温无氧烤箱主要做BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

450度高温无氧烤箱主要技术指标 

1、洁净等级：Class100级

2、含氧量：<=20PPM

3、使用温度：RT～400℃，最高温度：450℃；  

4、腔体数量:2个,上下布置；独立控温

5、炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶

6、空炉升温时间：1.5h；

7.空炉降温时间：375℃--80℃；降温时间1.5-3.5小时 (采用水冷及风冷)；

8.智能控制系统：日本欧姆龙PCL+PC工控电脑

智能控制系统特点：

◆ 可接入MES和ERP通讯

◆ 权限分级管理，给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码

◆ 智能控制系统,历史数据、操作、报警，事件等等数据查询，记忆操作步骤，操作便捷

◆ PC 内部记录数据，使用 Excel 等常用软件可以读取，最短数据记录间隔5S；

工艺线标准 
1、在常温下以3-5℃/min升温速率升温40分钟到200℃ 
2、200℃状态下恒温45分钟 
3、再40min升到375℃ 
4、375℃恒温1H 
5、最后以每分钟3-5℃的降温速率，79min左右从375℃降到75℃ 

公司名称：上海旦顺实业有限公司