半导体行业废气治理 RTO蓄热式氧化炉 废气净化设备
半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。 在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。工业生产排放的废气,常对环境和人体健康产生有害影响,在排入大气前应采取半导体行业废气治理 RTO蓄热式氧化炉 废气净化设备措施处理,使之符合气排放标准的要求,这一过程称为废气处理工程。
半导体行业废气治理 RTO蓄热式氧化炉也可称之为rto蓄热焚烧设备、rto蓄热式废气焚烧炉等,简称“RTO设备”,是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用PLC智能操控系统,能够将设备的处理数据信息进行智能化系统监管,既能够反应设备的操纵温度及反应速度,设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。原理是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水,净化废气,并回收废气分解时所释放出来的热量。
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