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零件加工精度以纳米，甚至之后以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为目标时，零件切削加工方法已不能适应，需要借助特种零件加工的方法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超过原子间的联合能，从而去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超加工的目的。属于这类加工的有用械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等。
精密机械加工件中刀具该如何选择与影响因素其一、精密机械加工中刀具该如何选择
精密机械加工中刀具选择的总原则是：刀具的刚性好，安装和调整方便，耐用度和精度好。另外为了提高刀具的刚性，刀具伸出长度应尽可能短。在精密机械加工厂机床上，各种刀具分别装在刀库中，按程序的规定进行加工。
精密机械加工中刀具种类：精密机械加工刀具种类较多，应用广的是各种表面及孔加工刀具，其中平面、曲面的加工刀具主要采用各种类型的铣刀、而孔加工刀具根据所加工孔的形状、位置、精度要求等可选择钻头、铰刀、扩孔钻、镗刀等。硬质合金螺旋齿立铣刀主要用于加工铸铁、钢件、有色金属等材质，刀片一般为焊接式。可转位螺旋立铣刀主要用于粗铣大型工件的台阶面，立面及大型槽。数控铣床分为不带刀库和带刀库两大类。能加工轮廓形状特别复杂或难以控制尺寸的五金零件，如模具类零件、壳体类零件等。
精密机械加工所用的刀具是由通用刀具主轴前端锥孔配套的刀柄等组成，加工中，要依据许多因素来选择，例如机床性能、夹具的刚度、工件材料的性能、切削用量以及其它相关因素。
其二、影响高精密产品零部件加工精度的因素
众所周知，之所以高精密产品零部件加工的加工被称为高精密产品零部件加工，正是因为其加工工序及工艺要求非常高，对产品的精度要求非常之高，而精密零部件定制的加工精度包含了位置的精度，尺寸的精度，形状的精度等，结合公司十多年的生产加工经验为我们总结了以下影响高精密产品零部件加工精度的因素：
（1）机床的主轴回转跳动能对零件的加工精度产生确定的误差。
（2）机床导轨的精度不准确也能导致高精密产品零部件加工工件形状的误差。
（3）传动部件也能导致工件加工产生误差，这也是工件表面误差产生的较主要的因素。
（4）刀具，夹具种类的不同也会对加工工件的精度产生不同程度的影响。
（5）在加工切削的过程中由于受力点的位置发生变化会导致系统产生变形，从而产生差异，也能使工件的精度产生不同程度的误差。
（6）切削力度的大小不同，也会导致工件精度受影响。
（7）工艺系统受热变形导致的误差，高精密产品零部件加工过程中，工艺系统会在各种热源的作用下产生确定的热变形。
（7）工艺系统受热而产生的变形经常会导致工件的精度受到影响。
（8）机床受热而产生变形会导致工件产生变形。
（9）刀具受热变形会对工件产生很大的影响。
（10）工件本身受热变形，主要是在切削过程中受热产生变形。
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