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1、精度不错，稳定性好，不易变形。在常温下能确定测量精度。
2、不生锈，不需特别保养，使用寿命长。
3、工作表面的划痕，碰伤、不影响测量精度。
4、测量中的能干顺滑动，无滞涩感。
5、大理石构件的特点：物理性稳定，组织缜密，受撞击晶粒脱落，表面不起毛边，不影响其平面精度花岗石细致测量平板。岩石经长期自然生长时效，组织结构均匀，线胀系数小，内应力消失，不变形。
6、大理石构件的工作表面在使用中保养维护简便，材质稳定，能够确定长期不变形，线膨胀系数小，机械精度不错。
大理石平板扰动分析与补偿控制及加工技术[一]、扰动分析与补偿控制
扫描过程中，掩模台匀速段预期控制精度为其位置误差小于40nm，任何扰动因素都会对该精度产生严重影响，大理石平板需要对外部存在的干扰进行分析，并设计相应的前馈控制器进行补偿。主要包括：投影物镜振动前馈补偿、粗微台电磁耦合补偿、垂向对水平向的耦合补偿等。
1、投影物镜振动干扰与补偿
投影物镜通过机架支撑，具有质量大、重心高等特点，扫描运动所致的运动冲击易造成投影物镜产生振动，任何微小振动将造成曝光线条偏离严重，影响同步扫描的曝光精度，因此，需要对物镜振动所致干扰进行补偿，以掩模台与投影物镜的相对位置关系。
2、垂向运动对水平向运动耦合与补偿
工作台的微动台为空问6白由度运动，3个垂向直流电动机驱动凸轮单元支撑水平向洛伦兹电动机，实现垂向与水平向的控制分离。工作台在扫描曝光过程中，为补偿不同的硅片形貌误差，需要进行垂向的调平调焦运动，此运动将导致水平向洛伦兹电动机动、定了问隙发生变化，从而引起水平向驱动力产生角度倾斜。同时，垂向的调平调焦运动要求执行部件有较高的响应速度，随之而来的是运动可能造成的振动，从而导致垂向运动对水平向产生扰动。
对于此类扰动，采用垂向加速度前馈控制进行补偿，将垂向运动作为扰动力通过补偿模型引入控制器。
3、粗、微运动台电磁耦合与补偿
工作台粗、微运动依靠平面电动机的电磁耦合进行关联，扫描运动由主从控制模式实现，即微动台实现小行程、纳米级运动，粗动台大行程、微米级跟随，粗动台以逼近霍尔传感器的值为零跟随微动台运动。由于粗动台(直线电动机)白身结构所限，在跟随运动时会产生较大的推力波动，虽然该波动可以通过实测手段并结合PID中的积分环节予以测量和补偿，但由于粗、微运动精度存在量级上的差异，粗动台的运动误差仍然可以通过电磁耦合影响微动台的控制精度，需要设计补偿控制器此耦合扰动。
[二]、浅谈现代机械制造工艺及加工技术
1、现代机械制造工艺
现代机械制造工艺涉及的范围较广。例如焊、钳、车、铣等。就现代机械制造工艺中常见的现代机械制造焊接工艺探讨和分析。现代机械制造焊接工艺主要有以下几种：一是气体保护焊；二是电阻焊；三是埋弧焊；四是螺柱焊；五是搅拌摩擦焊。
(1)现代机械制造气体保护焊焊接工艺分析
所谓气体保护焊焊接工艺，主要是指以电弧为热源的一种焊接工艺，该焊接工艺的主要特征就是被焊接物体的保护介质是气体。其工作原理是：在焊接过程中，会在电弧四周形成气体保护层，并将电弧和熔池与空气相分割，从而的预防气体对焊接产生影响的同时电弧稳定、充分的燃烧。通常情况下，使用较多的就是气体保护焊，将作为保护气体，这是由于的价格较为低廉，被广泛的使用于现代机械制造业之中。
(2)现代机械制造电阻焊焊接工艺分析
所谓电阻焊焊接工艺，主要是指把被焊接的物体紧压在正负电极之间，再对其进行通电，借助电流经过被焊物体的接触面其附近形成的效应，对其进行加热直至熔化，使其与金属结为一体的一种压力焊接工艺。该焊接工艺具有很多优点，例如焊接质量高、机械化程度高、生产、加热时间短、无气体的污染和无噪声等优点。因而被广泛的应用于现代机械制造业。例如、航空航天、汽车、家电等。而缺点就是设备成本高、维修难度大、缺乏的无损检测技术的支持。
(3)现代机械制造埋弧焊焊接工艺分析
所谓埋弧焊焊接工艺，简单的来说，就是在焊剂层下燃烧电弧而进行焊接的一种焊接工艺。该焊接工艺分为自动和半自动两种焊接方式。自动埋弧焊只需焊接小车负责送进焊丝和移动电弧，而半自动埋弧焊需要胡械送进焊丝，且移动电弧需要人工手动完成，后者因劳动成本大目前几乎己经被淘汰。例如在焊接钢筋时，传统的主要采用手工电弧焊，也就是半自动埋弧焊，而目前己经被电渣压力焊所替代，由于其具备生产率高、焊缝质量高且劳动条件好的特点。值得一提的是，选用这种焊接工艺进行焊接时，应注重焊剂的选择，尤其的焊剂的碱度，这是因为焊剂碱度是体现工艺性能、冶金性能和电流种类以及可焊钢材等级的重要技术标准。
(4)现代机械制造螺柱焊焊接工艺分析
所谓螺柱焊焊接工艺，就是把螺柱的一端同管件或板件的表面相接触目引通电弧直至接触面熔化，再给予螺住一定的压力而完成焊接的一种焊接工艺。该焊接工艺可分为两种焊接方式，即储能式与拉弧式。由于前者焊接时熔深较小。因而主要应用于薄板的焊接，而后者则刚好相反，则主要应用在一些重工业之中。二者的共同点就的单面焊接。具备不需打孔、钻洞、粘结、攻螺纹以及铆接等优点，尤其是不需打孔和钻洞，采用这一焊接工艺不会漏气漏水，因而被广泛的应用在现代机械制造业中。
(5)现代机械制造搅拌摩擦焊焊接工艺分析
搅拌摩擦焊焊接工艺是上世纪九十年代初由英国的TWI焊接研究所而来，俗称FSW。上世纪末的较后几年间在铁路、飞机、车辆以及船舶等机械制造业中得到了广泛的应用，且应用领域在不断的扩张。该焊接工艺的优点就在于焊接时不需要除了焊接搅拌头之外的任何焊接消耗性材料。比如，焊丝、保护气体、焊条和焊剂等统统不要。尤其是在焊接铝合金时，一个焊接搅拌头能焊八百米的焊缝且焊接的温度较低。
2、加工技术
加工技术有很多，例如：切削技术、模具成型技术、超研磨技术、微细加工技术以及纳米技术等。结合工作实际，主要就切削技术进行简单的分析。该大理石平台技术直接用切削方法获得的方法。然而要用切削方法获得和高水平的表面相糙度，排除机床、刀具、工件和外界等因素的影响。例如为提高机床加工精度，机床具有刚度高、热变形小和抗振性能良好的特点。又例如为了提高机床加工精度，机床配套的平台基座、导轨等部件，可以采用花岗石替代铸铁，花岗石平台和构件热变形小，可以减小环境误差影响。
总之，现代机械制造工艺及加工技术是影响机械制造行业发展的关键，因此，我们应该充分认识到加强现代机械制造工艺及加工技术探究的重要性和性，不断创新现代机械制造工艺，提高加工技术，以便很好地为现代机械制造与加工事业发展服务。
泊头市腾淼量具制造有限公司（http://www.bttmlj.com）主营多种不同型号的机床工作台、花岗石平板、机床床身铸件，、减震垫铁产品广泛应用于电站、冶金、机械、工、船舶、环保、航空、汽车、农机、电器、仪表、器械、五金等生产行业，深受广大客户好评。
