Mott气体过滤器
括Intel、Samsung 和 Motorola。Mott 研究人员最早分析用金属过滤器替代膜式过滤器的可行性,这是一个非常有诱惑力的研究。最终Mott金属过滤器达到了高效率、高强度的要求,并由于寿命大大延长而进一步降低了成本。而且,Mott金属过滤器还消除了频繁更换过滤器所需的人工成本和停机成本。1994年,Mott 率先提出了使用点(POU)过滤系统5年品质保证的承诺,向半导体行业展示了它的自信。其后不久,Mott又提出了大容量过滤器15年品质保证的承诺。Mott仍然在不断创新,例如GasShield PENTA 系列降低了金属过滤器的压差,树立了多孔金属性能的
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