应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无害无味的CO2、H2O以及其它高价化合物。同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，彻底去除不同范畴的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。
低温等离子体去除污染物的机理：
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场＋电子高能电子
(2)高能电子＋分子(或原子)(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团＋分子(原子)生成物+热
(4)活性基团＋活性基团生成物+热
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分