CMOS工艺专用无尘烘箱,class100无尘烘箱
烘箱性能特点:
1.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘
2.采用特殊风道设计,经美国进口H.E.P.A送风,过滤效率99.99%,
3.控制器采用韩国进口三元TEMP360温控仪表,操作便捷!
4.完善的保护措施,安全可靠!
主要技术参数:
1.无尘等级:Class 100;
2.温度范围: +60℃~ +250℃;
3.温度均匀度:1.5%;
4.温度波动度:0.5℃(空载)
5.温控精度:0.1℃;
6..排 气 口:ф50;
7..加热方式:无尘加热器;
8.压缩气体过滤器,可把气体过滤到CLASS 10,
9.箱体材料:采用进口SUS304#镜面不锈钢板,并经
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