提下，气浮块的浮起间隙约6~10m，空气压力的波动会使气浮块的气浮间隙变化，影响测量时重复定位精度。气压严重不足时，会使气浮块不能充分浮起造成与导轨摩擦，轻者影响测量机运动状态和测量精度，重者会磨损导轨和气浮块，甚至严重损坏三坐标测量机。Z轴采用气动平衡的测量机在气压严重不足的情况下会造成Z轴失衡下落的情况，所以，要保证给测量机提供稳定的工作压力。空压机最好另有储气罐，使空压机压力稳定工作寿命。同时，必须采取前置过滤的方法，尽量争取把空气中的水分子和油分子在进入测量机之前过滤掉。
由于压缩空气对测量