弱点。20世纪60年代开始发展空气轴承主轴，与液体静压轴承相比，它有很高的回转精度、温升甚小，空气轴承的应用促进了超精密机床的发展。空气轴承的主要问题是刚度低，只能承受较小的载荷。超精密切削时，切削力甚小，因此空气轴承能满足要求，故得到广泛的应用。
2、机床的布局和导轨
超精密机床的总体布局对其性能好坏起决定性影响。对于超精密车床来说，一般有Z和X两个方向的导轨，某些机床还增加一个垂直的转轴。目前超精密机床的总体布局有十字形滑板工作台布局、T形布局、R-布局、偏转圆转角布局、立式结构布局。超精密机床