导轨受振源影响产生振动时，被测体的测量精度将产生很大的影响。如果振源频率与与某一构件的固有频率相同时将产生共振，振幅会被加大，严重降低测量的精度，且会缩短大理石平板的使用寿命。因此，必须保证气浮平台具有较强的抗振性才能保证测量结果的可靠性。
(4)热变形。由于设计要求测量平台的单轴示值精度较高，材料的热变形将会对该精度产生较大的影响。三维测量气浮平台的导轨将采用大理石材料，大理石构件材料线膨胀系数小，具有良好的热稳定性能，因此不会成为制约测量精度的一个因素。
(5)运动稳定性。当测量微小尺寸的物