日期:2018-11-02 09:19
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公司:山东高唐县鑫凯精密机械有限公司
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邮编:252800
详细介绍
随着高精度测量技术、超精密数控加工技术、微光刻技术、生物技术等领域的迅猛发展，对精密定位工作台的精度、运行速度、行程、自动化程度和可靠性等方面均提出了更高的要求。现代精密测量运动平台多采花岗石平板，采用静压气体支承技术。静压气体支承技术是 一种 典型的无摩擦气浮支承技术，具有响应速度快、运行平稳、无污染等优点，在精密或超精密气浮运动平台的设计中常采用该技术来对运动件进行支承。同时，随着IC(集成电路)技术和MEMS(微电子机械系统)技术的快速发展，精密气浮运动平台的定位精度最 高可达亚纳米级，极大的促进