了超精密、长行程气浮定位工作台的发展，并有利于这些工作台在相关领域的推广应用。
三维精密测量技术是 一种 基于精密运动平台的精确检测技术，是 超精密机加工行业确保工件质量的重要一环，其具有测量精度高、稳定性好、通用性强(能测长度、角 度、形位公差等)、可多维测量、测量效率高等特点。现代精密测量运动平台多采用静压气浮支承导轨形式作为工作平台，能够实现检测对象或超精密加工的精密运动。在结构设计方面，根据适用对象以及测量精度要求的不同，现有三维精密测量气浮平台主要结构形式有龙门式、桥式、悬臂式三种 类型，