且以移动龙门式结构应用较多，但其在运动精度及存在阿贝误差等方面的缺陷一直是 一大难题。在运动控制方面，三维精密测量技术多数以运动控制卡为核心，采用PID参数调节及速度、加速度前馈控制模式并以精密光栅或激光尺来进行位置信息的反馈，可实现连续轨迹控制功能，最 高定位精度水平可达纳米级。在设计分析方面，主要侧重于研究结构参数对所设计平台的静态力学特性的影响以及分析平台的动力学响应特性，但以理论和仿真研究较多，二者与实验的结合研究相对较少。
另外，同国外相比，国内在对精密测量气浮平台的测量精度、驱动控制、