可靠性、运动误差补偿等方面的技术水平明显不足，很大部分还处在实验研究阶段，极大的制约了我国在超精尖等高端领域的发展。相反，美国、德国、日本等发达国家对精密或超精密气浮定位平台技术的研究已相对成熟，在近几十年对相关技术进行了深层次的探索及开发。如其广泛应用于超精密测量的气浮定位平台在机械结构、运动控制、稳定性等方面均有了跨越式的发展，极大的促进了气浮平台运动精度的再提高。当然，由于精密气浮运动平台在精密测量等领域的应用受多种 因素的综合影响，还有进一步研究的空间，主要集中在以下几个方面：(1)结构设计