方面，合理的结构设计是 三维测量装备力学性能和测量精度的重要保证，而现有的气浮平台结构形式较为单一，无法保证测量对象的广泛性；(2)补偿技术方面，无论是 控制系统参数设置的不合理性还是 外界环境的影响都会引起平台运动精度的降低，需要有先进的运动控制补偿技术；(3)驱动控制方面，首 先需要先进的位置信息反馈系统，实时监测气浮平台的位置偏离误差范围；其次，在运动轨迹规划中，对速度以及加速度的控制要求较高；最 后，各运动轴的同步控制也有待进一步研究。
气浮大理石平台作为精密测量及超精密加工装备的基础，国内外在