相关技术研究方面己经有了坚实的基础。在近几年关于测量技术的研究中，应用于三维精密测量或其它领域的气浮定位工作台在结构、材料、驱动、控制、测量等方面有了许多长足的进步，使定位工作台朝高精度、高速度、大行程的方向发展。超精密气浮定位工作台是 高精度测量机上极其重要的关键部件，它直接影响测量机能达到的测量精度和测量效率。因此，美国、日本等发达国家在研究精密测量或精密加工的同时，积极开展对定位工作台的研究，不断研制出高精度、高速度、大行程的定位工作台来满足光刻技术的发展得需要，而目前最 主流的产品是 超精