60齿精密分度的标准转台或角 度多面体、高精度圆光栅和平行光管等目前通用的检测仪为双频激光干涉仪。
1、检测方法(双频激光干涉仪)
(1)安装与调节双频激光干涉仪。(2)预热激光仪，然后输入测量参数。(3)在机床处于运动状态下对机床的定位精度进行测量。(4)输出数据处理结果。(5)处理检测数据。
2、检测时的注意事项：
(1)仪器在使用前应精确校正。确保花岗石平台基座的平面度平行。
(2)螺距误差补偿，应在机床几何精度调整结束后再进行，以减少几何精度对定位精度的影响。
(3)进行螺距误差补偿时应使用高精度的