，特别适合于在线测量与检测。
另一种测量直线度的方法可以通过精度为0.1m的电容测微仪用位移法测量，其表头的示值即为直线度的误差值；在此测量中，由于电感测微仪自身的'0'点漂移较严重，需经过长达24h的稳定后，其数值才可信，故使得加工与测量间的衔接时间增长。更高精度的加工必须有精度的检测手段，目前常采用HP5528A或HP5529A动态校准仪，它的显 示精度为1nm，可检测平面度、垂直度、直线度、时基即振动、角 位移测量、对角 测量等等。
花岗石平板的平台检测法是 一种积木式的检测方法，它在平台上通过某些量具、两仪和辅