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详细介绍
超精密定位技术已成为精密工程领域的关键技术之一，微型机电系统的制造与检测、大规模集成电路的生产、超精密机械加工及其精密测量，都离不开超精密定位技术。高精度和高分辨率的精密微位移工作台系统的各项技术指标是 各国高技术发展水平的重要标志。精密微位移工作台系统的定位精度和行程范围直接影响到生产加工的精度。同时，大理石平台的速度、加速度及启停过程的稳定时间则影响到设备的效率，成为系统的重要指标。
按精度高低和行程大小精密及超精密微进给工作台系统可以分为两类：小行程、极高精度的工作台系统和大行程、高