精度的工作台系统。小行程极高精度工作台大多采用压电元件或电磁元件作为驱动装置。行程多在数十微米的范围内，但位移分辨率可高达1nm。大行程高精度工作台是 指行程达毫米级以上，但定位精度略低于小行程系统的工作台系统。大行程超精密工作台主要的类型有直线电机驱动、摩擦驱动式，也有采用两级进给的方式，即采用粗动与精动两套系统，以同时兼顾大行程、高的响应速度和高定位精度。其中大行程超精密微进给工作台在制造业中有非 常重要的意义和实用价值。因此世界各制造强国都非 常重视大行程超精密微进给工作台的研制。
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