云南花岗石平板订制厂家非 标加工/亿创量具机械非 标加工
台在已研制的精密及超精密工作台中，往往只追求某个性能指标，其整体性能存在缺陷，如工作台运动性能的高精度与运行速度往往不能兼顾，精度越高，系统的分辨率越高，当运行速度提高到一定程度时，传感器的信号频率将超过控制系统的采样频率。因此高精度高速度的微进给平台的控制系统必须具有高的采样频率和极短的工作周期。这样的控制系统的对软硬件的要求都极高，势必造成很大的技术难度或高昂的成本。
　　由于精密及超精密微进给平台的定位精度和分辨率多在亚微米级，工作环境的影响不容忽视。温度的变化直接影响平台的定位精度，环境

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