日期:2019-08-01 18:02
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公司:泊头市亿创量具制造有限公司
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详细介绍
1)总体方案
目前大行程超精密工作台的设计方案主要有两种设计思路：一是 单级进给方式，采用直线电机非 接触进给或利用静摩擦驱动进给；二是 两级进给方式，即采用粗动与精动系统相结合，以达到高的定位精度和分辨率。两级进给的方案与单级进给相比，优点是 可以结合目前成熟的大行程工作台技术与压电陶瓷驱动器的优点，降低技术难度和研制风险，但是 不可避免的使工作台的结构复杂化并增加了控制系统的控制难度。因此单级进给实现纳米级分辨率是 以后的发展方向。
2)工作台材料
超精密工作台要求工作台具有小质量、高刚