零件。
4)殷钢
殷钢(又称低膨胀合金、因瓦合金)的特点是 具有几乎为零的膨胀系数，主要应用于环境温度波动时要求尺寸恒定不变的元件，以保证仪器仪表、整机的性能精确度，其在超精密机床中也得到了应用，如美国LLNL开发的LODTM机床就应用了殷钢作为结构材料。
5)花岗石
花岗石比铸铁长期尺寸稳定性好，热膨胀系数低，对振动的衰减能力比钢铁要高很多倍(约巧倍)，硬度高耐磨并不会生锈。用花岗岩作超精密机床的床身和导轨是 比较好的。花岗石的主要缺点是 它的吸湿性，吸湿后产生微量变形，影响精度。
6)树脂混凝土