性能。日本东京工业大学制造的分辨率可以达到2nm直线电机精密平台，就是 利用氧化铝陶瓷作为平台的结构材料。
8)石英陶瓷
石英陶瓷作为结构陶瓷多应用在玻璃、冶金、电工、航空航天等行业。主要利用其热导率低、热膨胀系数小、电性能好等优点。但其应用于精密平台还未见报道。
9)零膨胀玻璃
微晶玻璃是 20世纪70年代发展起来的多晶陶瓷新型材料。它兼有玻璃和陶瓷的优点，具有常规材料难以达到的物理性能。微晶玻璃采用一种不同于陶瓷的制造工艺，与普通玻璃相近，但特性与陶瓷却迥然不同。由于铿铝硅微晶玻璃的晶化程度