工精细度要求较 多也就能够控制到几十纳米，大理石平台对于真正的实现纳米级加工还存在一定的差距。但是 采用传统加工方式的主要优点就是 加工机理上的创新，在加工过程中，可以选择的加工处理方式也比较多，加工范围也比较广泛，但是 在加工过程中，可加工材料的选择方面存在一定的限制，因此要实现真正的纳米级加工是 非 常困难的，因此当前的两种 加工方式要想完全的实现纳米级加工仍然存在一定的难度，要想提高机械加工的超精密度要寻找新的加工方式，寻找使用范围更广的加工材料。
2、超精密加工的新方法和研究方向探讨
纳米