这样才能够保证在原设备的基础上进行改善，逐渐的提高机械加工的精度，可以在原加工基础上增加刀具交换机构，形成一定的加工位置测定，从而能够有效的实现多自由度的纳米加工，也就是 可以实现在同一个基础设备上的加工检测处理，这样就可以逐渐实现加工机械的微型化处理，在发展过程中，通过利用已经取得的微纳米加工处理方式，能够提高整个加工机械设备的精密度。
当前在加工过程中，使用的主要材料就是 单晶硅、石墨等，对于一些金属、非 金属等的加工处理，其加工范围通常情况下需要将其控制到几百纳米的范围内，以一纳米数量级为