条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。所以很难单纯的去界定一套UV光解净化设备对废气的净化去除率，我们只能说尽量的去调整影响UV光氧等离子一体机设备净化率的各种因素，尽量的去提高UV光解净化工艺的净化效率。在各种因素都比较适宜的条件下，UV光解净化系统在实际运用中是可以达到90%以上的，甚至某些成分的废气其净化效率可以达到95%以上。
光氧等离子一体机的适用领域：
1、硫醇类：牛皮纸浆、炼油、煤气、农药、合成树脂、合成纤维、橡胶。
2、氨：氮肥、硝酸、炼焦、粪便处理、肉类加工。
3、胺