装置测量Rz值和Ry值。也可通过测量描绘出轮廓图像，再计算Ra值，因其方法较繁而不常用。需要时可将粗糙度轮廓图像拍照下来评定。光切显微镜适用于计量室。
3、用比较显微镜：观察两者被显微镜比较法将被测表面与表面粗糙度比较样块靠近在一起，放大的表面，以样块工作面上的粗糙度为标准，观察比较被测表面是否达到相应样块的表面粗糙度；从而判定被测表面粗糙度是否符合规定。此方法不能测出粗糙度参数值。
4、实际的T型槽平板的检测的过程中，样块对比法是较为常用的干涉显微镜：是利用光波干涉原理，以光波波长为基准来测量T