化处理的一种VOCs处理方法，由于催化作用有特殊选择性，对相同反应物，选择不同催化剂就可得到不同产物。低温等离子体催化技术优点是能耗低、安全性高、无二次污染、工艺操作简单、不产生副产物、处理效率高、尤其适用于低浓度大风量VOCs废气治理；缺点是工艺条件要求严格、不允许废气中含有影响催化剂寿命和处理效率的尘粒和雾滴，不允许有使催化剂中有害的物质、处理前须对废气作前处理、不适于处理燃烧过程中产生大量硫氧化物和氮氧化物VOCs废气。
十二五国家大气污染防治规划将大气污染防治工作扩展至挥发性有机污染物，实行多污