低的条件下敏捷氧化成水和二氧化碳，达到治理的意图。催化燃烧法处理工业有机废气是20世纪40年代末呈现的技能。
催化燃烧过程是在催化焚烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入焚烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的外表而活化。因为外表吸附降低了反响的活化能，碳氢化合物与氧分子在较低的温度下敏捷氧化，产生二氧化碳和水。
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