为了保持催化剂的活性，一般都采用前处理的方法，预先除掉有有害物质。近几年来，含稀土元素的钙钛矿结构的复合氧化物催化剂的研发在提高耐高温功能等方面有所发展。研发的稀土元素催化剂已用于有机废气的治理。
催化剂的效果下，使有机废气中的碳氢化合物在温度较低的条件下敏捷氧化成水和二氧化碳，达到治理的意图。催化燃烧法处理工业有机废气是20世纪40年代末呈现的技能。
催化燃烧过程是在催化焚烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入焚烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧