有机物分子在高能电子作用下形成各种自由基、带电中间体、小分子烃等，在催化剂作用下使可燃组份彻底氧化分解，从而使气体得到净化处理的一种VOCs处理方法，由于催化作用有特殊选择性，对相同反应物，选择不同催化剂就可得到不同产物。低温等离子体催化技术优点是能耗低、安全性高、无二次污染、工艺操作简单、不产生副产物、处理效率高、尤其适用于低浓度大风量VOCs废气治理；缺点是工艺条件要求严格、不允许废气中含有影响催化剂寿命和处理效率的尘粒和雾滴，不允许有使催化剂中有害的物质、处理前须对废气作前处理、不适于处理燃烧过程