量高能粒子，当高能粒子能量高于VOCs化学键能时，高能粒子不断轰击可使VOCs化学键断裂、电离，从而破坏VOCs分子结构，生成小分子低有害无有害有机物，生成有机物再采用沸点较高、蒸汽压较低有机溶剂作为吸收剂，利用VOCs在吸收剂中溶解度或化学反应特性差异，使VOCs从气相转移到液相，然后对吸收液进行解吸处理，回收其中VOCs，同时使溶剂得以再生。该技术优点是操作简便、处理效率高、吸收剂价格便宜、适用于低浓度大风量VOCs处理；缺点是存在二次污染、对设备要求较高、需定期更换吸收剂。
(二)、催化燃烧设备的原理
催化燃烧法存在