能以提高表面质量和面形精度。
超精加工所能达到的表面质量、面形精度与元件尺寸、形状、材料相关。对于具有复合加工功能的机床，辅以测量技术还可进一步从加工工艺上提。
近年来，太赫兹(THz)作为一门新兴技术得到了广泛重视。太赫兹频谱介于微波与红外之间。太赫兹的性能给反隐身探测、电子对抗、电磁武器、宽带通信、天文学、医学成像、无损检测、检查等领域带来了深远的影响。太赫兹是未来超加工技术与机床广泛和重要的应用领域。
从大的尺度来说，太赫兹应用需求巨大，如太赫兹天线镜面加工需求。
在小的尺度方面，太赫兹系统中的微