分辨率达到64万分之一。运动传递装置通常由联轴器、丝杠和螺母组成，它们的精度和性能将直接影响运动平稳性和精度，也是间接驱动方式的主要误差来源。美国麻省理工学院设计了两种联轴节，分别采用球槽和柔性铰链结构，用于电机与丝杠不同轴误差。我国科技大学设计了一种框架式浮动单元，用于连接螺母和工作台，可4个方向的运动误差。丝杠往往选择的滚珠丝杠，另外也有气浮丝杠和磁浮丝杠用于超机床的实验研究，如俄罗斯研制的气浮/磁浮丝杠分辨率达到了0.01m。日本新宿大学的Fukada通过在滑动丝杠、螺母和工作台间插入弹性体，将扭矩转化