催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CCl4、多氯联苯等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生羟基自由基的速率大大加快，推动有机物的氧化去除。
光氧净化器光解处理区采用光解转化有机废气，反应区内只安装灯具，只是进出两端设置隔离层，气流平稳、缓慢，阻力小，选用系统风机的压力要求低，降低配套设施运行能耗和费用。采用光照的方式处理有机废气，在光解反应区内将有机物质直