响，平面稳定好。
大理石平台的组成与精度同研究现状
其一、某微小型超铣削机床的组成与精度
随着技术的不断发展，产品的高品质和小型化已经成为一种发展趋势。与之对应的超微细加工技术亦是当前机械制造与技术领域的前沿和热点。
超加工技术是现代高科技产业和技术的发展基础，大理石平台是现代制造的发展方向。随着光学、航空航天和工业等领域需求的不断提高，由MEMS带来的基于硅半导体制造工艺的微细加工技术已经不能满足加工多种材料和复杂3D形状的要求，故采用传统的机械加工方法进行微细制造的研究受到人们的重视。
与传统的加工机