相比，微小型机床具有低成本、及高柔性的特点，成为开展微细切削加工研究的重要装备。近年来，国内哈尔滨工业大学、上海交通大学、北京航空航天大学等单位相继开展了微小型机床方面的研制工作，但主要以微米级精度的实验样机为主，难以满足很高加工精度的需要。为此，我们在前期研究的基础上，开展了亚微米级精度的微小型机床的研究。
一、微小型机床的组成
为亚微米级的精度要求，对机床的结构设计和控制系统设计均提出了非常高的要求，主要满足以下原则：高分辨率的运动控制精度、高静/动态刚度和优良的热稳定性。
研制的三轴联动微小型