废气中的VOC在此高温下直接分解成二氧化碳和水蒸气，形成无味的高温烟气，然后流经温度低的蓄热陶瓷，大量热能即从烟气中转移至蓄热体，用来加热下一次循环的待分解有机废气，高温烟气的自身温度大幅度下降，再经过热回收系统和其他介质发生热交换，烟气温度进一步降低，排至室外大气。这种工艺虽然相对来说比较成熟，但是在某些领域已经被蓄热式催化燃烧代替，它的设备投入成本高，安装制作工艺繁琐，电器控制要求高。
其原理是把有机废气加热到760摄氏度（具体需要看成分）以上，使废气中的VOC在氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的