净空气温度高达500-700℃，这部分空气的热能通过换热器回收。同时，清洁空气的温度降低，然后被引导到转轮的脱附区进行脱附；如果温度太高，转轮可能会燃烧，所以进入转轮的温度不要太高。一般会设置两级热回收设备，并增加鼓风机引入新鲜空气与燃烧空气混合，从而将脱附温度控制在180-220℃范围内。为了处理VOCs废气，除沸石吸附浓缩旋转焚烧系统外，可在光刻胶涂布机等工艺末端或光刻胶去掉工艺废气进出入口安装冷凝器，并可提前处理高沸点VOCs。
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