氧化室，有机物被净化；净化后的高温气体由未蓄热的蓄热室吸热后排放，一部分处理后的气体被引回到第三室，吹扫其中残留的未处理废气；在污染物除掉速率要求不高的情况下，为节省资金，也可设计成两室结构。
可燃物在催化剂作用下燃烧与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较全部。催化燃烧所用的催化剂为具有大比表面的贵金属和金属氧反应物多组分物质。例如家用负载Pd或稀土化合物的催化燃气灶，可减少尾气中CO含量，提升热速率。负载0.2%pt的氧反应铝催化剂，在500℃下，可将大多数有机化合物燃烧，脱臭净化到化学位移=1以下。