其净化作用机理包含等离子体中包含大量的、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接生成单质原子或由单一原子构成的气体分子。同时产生大量的OH、HO2、O等活性自由基和氧化性的O3，与气体分子发生化学反应，生成产物。
工业废气处理rto废气处理设备是使废气在催化剂的催化作用下在250~350的温度下发生氧化生的废气处理设备。在催化燃烧装置中可以使废气中所含的废气(vo